Institut de Chimie Moléculaire et des Matériaux d'Orsay

 

Mots clefs : MOCVD, oxydes binaires/ternaires, matériaux nanostructurés, nanomatériaux, relations microstructure-structure-propriétés mécaniques, couches minces

 

2 thèmes de recherche sont principalement explorés :

Matériaux à microstructure et structure contrôlées

Des couches nanostructurées de SnO₂ ont été synthétisées et une nouvelle génération de capteurs électrochimiques constituée de cette couche de SnO₂ et d’une couche fonctionnalisante réalisée par voie électrochimique (molécule organique greffée via des sels de diazonium) a été évaluée [1-2].

En vue de remplacer la silice ou le nitrure de silicium dans les capacités intégrées sur silicium, des films ferroélectriques d'une perovskite ABO₃ (SrZrO₃, SrTiO₃) sur des substrats de silicium ont été réalisés, pour la première fois à notre connaissance, par MOCVD à partir de précurseurs monosources et bisources [3].

Stabilité structurale et mécanique de systèmes soumis à des sollicitations thermo-mécaniques

Relations microstructure, structure et propriétés mécaniques

L'effet de la pression, de la température et de l’écart à la stoechiométrie sur la stabilité de la phase quadratique de ZrO₂ a été étudié. Les contraintes externes appliquées (flexion 4 points, de traction en température) influent sur la stabilité de la phase quadratique (q) qui devient monoclinique (m) au-delà d'un certain seuil de contrainte appliqué. La microstructure est aussi modifiée et il existe aussi une taille de grains critique au-delà de laquelle la phase (q) n'est plus stable. Le paramètre température qui provoque une augmentation de la taille de grains et/ou une relaxation des contraintes nous permet de décorréler l’effet des contraintes et de la taille de grains. Le paramètre clef et les mécanismes stabilisant la phase (q) métastable ont été identifiés [4-6].

Participation à des programmes nationaux

Recherche finalisée et contractualisée / relations avec le milieu industriel

Collaborations nationales et internationales majeures

Matières enseignées : Elasticité, Méthode des éléments finis, Projet interspécialités, Projet personnel professionnel, Contraintes résiduelles et traitement de surfaces, Sélection des matériaux et procédés.

Initiatives pédagogiques

Co-Developpement d’un enseignement « Traitement de surface et contraintes résiduelles » traité en pédagogie inversée (par problème).

Co-Developpement des projets interspécialités au sein de la 4ème année de la filière étudiante de Polytech paris-Sud ; ils permettent de mettre en application de multiples compétences dans le domaine de l’entreprenariat, de l’innovation parfois dans le cadre de concours inter-écoles voire internationaux.

 

2016 - aujourd'hui : Directeur Adjoint (affaires générales) à Polytech Paris-Sud

2016 - aujourd'hui : Chargé de mission « qualité » à Polytech Paris-Sud

2012-2016 : Directeur Adjoint en charge des formations à Polytech Paris-Sud

 

[1] "Synthesis and characterization of SnO2 thin films deposited by MOCVD technique for electrochemical applications" R. Drevet*, C. Legros, D. Berardan, P. Ribot, D. Dragoe, C. Cannizzo, M.G. Barthes-Labrousse, A. Chaussé, M. Andrieux Surface & Coatings Technology 271, 234–241 (2015).

[2] “XPS-nanocharacterization of organic layers electrochemically grafted on the surface of SnO2 thin films to produce a new hybrid material coating” R. Drevet*, D. Dragoé, M.G. Barthés-Labroussea, A. Chaussé, M. Andrieux Applied Surface Science 384, 442–448 (2016)

[3] “On the reliability of heteronuclear precursors – ligand effects in the LI MOCVD synthesis of SrTiO3 films” G.A. Seisenbaeva, S. Gohil, V.G. Kessler, M. Andrieux, C. Legros, P. Ribot, M. Brunet J. Nanosci. Nanotechnol. 11, 8302-8308 (2011)

[4] "Textured tetragonal ZrO2 film grown on (100) silicon surface by DLI-MOCVD" M. Jouili*, M. Andrieux, P. Ribot, M. Ghysel-Herbst, V. Ji J. Nanosci. Nanotechnol. 11, 8009-8016 (2011)

[5] “Effect of the oxygen partial pressure on the toughness of tetragonal zirconia thin films for optical applications” M. Andrieux, P. Ribot, C. Gasquères, B. Servet, G. Garry Applied Surf. Sci. 263, 284-290 (2012)

[6] “Residual stress study of nanostructured Zirconia films obtained by MOCVD and by Sol-gel routes” M. Jouili*, M. Andrieux, P. Ribot, A. Bleuzen, G. Fornasieri, V. Ji Applied Surf. Sci. 276, 138-146 (2013)